光纖光譜儀在發(fā)射光譜、LED、薄膜厚度測量應(yīng)用

　　光纖光譜儀是光學(xué)儀器的主要構(gòu)成部分。由于其檢測精度高、速度快等優(yōu)點，已成為光譜測量學(xué)中使用的重要測量儀器被廣泛應(yīng)用于農(nóng)業(yè)、生物、化學(xué)、地質(zhì)、食品安全、色度計算、環(huán)境檢測、醫(yī)藥衛(wèi)生、LED檢測、半導(dǎo)體工業(yè)、石油化工等領(lǐng)域。
 

　　1、發(fā)射光譜測量
 

　　發(fā)射光譜測量可以用不同的實驗布局和波長范圍來實現(xiàn)，還要用到余弦校正器或積分球。發(fā)射光譜測量可以在紫外/可見和可見/近紅外波長范圍內(nèi)測量。
 

　　對于發(fā)射光譜的測量，光譜儀可以配置成波長范圍從200-400nm或350-1100nm，或組合起來實現(xiàn)紫外/可見200-1100nm。
 

　　為了使實驗布局更靈活，用可見/近紅外定標(biāo)光源(LS-1-CAL)或紫外/可見/近紅外定標(biāo)光源(DH2000-CAL)可以在用戶現(xiàn)場進行定標(biāo)。功能強大的廣州標(biāo)旗軟件可以完成定標(biāo)并載入輻射定標(biāo)數(shù)據(jù)。
 

　　2、LED測量
 

　　簡單而且迅速地測量LED的整個光通量的方法就是使用一個積分球，并把它連接到一個美國海洋光學(xué)公司的光譜儀上。該系統(tǒng)可以用鹵素?zé)暨M行定標(biāo)(LS-1-CAL-INT)，然后用廣州標(biāo)旗軟件從測量到的光譜分布計算出相關(guān)參數(shù)，并實現(xiàn)輻射量的測量。所測光源的光譜發(fā)光強度還可以用μW/cm2/nm來計算、顯示并存儲。另外的窗口還可以顯示大約10個參數(shù)：輻射量μW/cm2, μJ/cm2, μW或μJ；光通量lux或lumen，色軸X, Y, Z, x, y, z, u, v和色溫。
 

　　3、薄膜厚度測量
 

　　光學(xué)的膜厚測量系統(tǒng)基于白光干涉測量原理，可以測量的膜層厚度10nm-50μm，分辨率為1nm。薄膜測量在半導(dǎo)體晶片生長過程中經(jīng)常被用到，因為等離子體刻蝕和淀積過程需要監(jiān)控；其它應(yīng)用如在金屬和玻璃材料基底上鍍透明光學(xué)膜層也需要測量膜層厚度。